最小檢知量

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

≤0.1μL/L

CO/H₂（H₂為選配）

≤0.5μL/L

純度

≤0.03%

露點:阻容

≤±0.1℃

精度

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

測量值≤10μL/L時,誤差≤±0.5μL/L

測量值＞10μL/L時,誤差≤±5%

CO/H₂

測量值≤50μL/L時,誤差≤±2.0μL/L

測量值＞50μL/L時,誤差≤±4%

純度

≤±0.1 %（W/W）

露點:阻容

≤±1℃

重 復 性

SO₂ +SOF₂、H₂S、HF

測量值≤10μL/L時,≤0.2μL/L

測量值＞10μL/L時,≤2%

CO/H₂

測量值≤50μL/L時,≤1.5μL/L

測量值＞50μL/L時,≤3%

純度

≤0.05%（W/W）

露點：阻容

＜1%（RSD）

量  程

SO₂ +SOF₂

0～100μL/L,0～2000μL/L

H₂S

0～100μL/L

HF

0～20μL/L

CO/H₂

0～1000μL/L

純度

0～100%

露點:阻容

-80℃～＋20℃

氣體流量

分解物、純度

0.2±5%L/Min  

水分

0.5±10%L/Min